方案概述

半導體行業 AMC 監測解決方案聚焦于對潔凈環境中的氣態分子污染物進行精準監測。通過在晶圓制造、封裝測試等關鍵區域布點，采用先進的傳感器技術，如化學電離質譜儀、氣相色譜儀等，實時檢測酸、堿、有機化合物等 AMC 成分及濃度。數據經采集與傳輸系統匯總至監控平臺，利用專業軟件分析數據趨勢、濃度分布等，為及時調整凈化系統、優化工藝、保障芯片良率提供關鍵依據，確保半導體生產環境的超潔凈與穩定性。

方案優勢

監測精準性

運用高靈敏傳感器，精確捕捉微量 AMC 信息。

技術先進性

采用前沿監測技術，適應復雜半導體工藝。

布點科學性

依生產流程關鍵處布點，全面覆蓋風險區域。

數據實用性

分析數據助力工藝優化與環境調控決策。

系統集成性

整合監測、傳輸、分析模塊，高效協同運作。

方案構成

建立先進的監測設備體系，包括高精度的化學電離質譜儀、氣相色譜儀等，分布于晶圓制造、光刻、刻蝕等關鍵工藝區域，以檢測酸、堿、有機及金屬氣態分子污染物。其次是數據采集傳輸模塊，將監測設備獲取的數據實時收集并通過有線或無線方式穩定傳輸至數據處理中心。再者是數據分析與管理平臺，對數據進行整理、存儲，運用專業算法分析污染物濃度變化趨勢、分布規律等，生成可視化報告。最后還有預警系統，當污染物濃度超出預設閾值時，及時發出警報通知相關人員，以便迅速采取措施調整生產環境凈化參數或工藝條件，保障半導體生產不受 AMC 影響，確保芯片制造良率與產品質量。

行業應用